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マイクロ電気機械システム（MEMS）
このような半導体チップ内の流体センサー、ミラー、アクチュエータ、圧力および温度センサー、振動センサーやバルブなどの機械装置を埋め込む技術。
- 품사: noun
- 분야/도메인: 소프트웨어
- 카테고리: 세계화 소프트웨어 서비스
- Company: IBM
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작성자
- Sakura08
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